概述
真空/可控氣氛共晶爐可用于微電子封裝、混合微電子電路組裝、低空洞共晶管芯貼片、陶瓷封裝封焊、金屬管殼真空封焊等領域。目的是為微波器件封裝、LED芯片焊接、MEMS 器件封裝、LD器件焊接、電力電子器件封裝、IGBT芯片焊接等提供設備支持。而且它為很多行業如:航空、航天及軍事工程等高可靠要求的混合集成電路、微波、光集成電路以及MEMS器件的試驗研究提供了一個良好的環境。
真空/可控氣氛共晶爐具有抽真空、充惰性氣體、加熱等功能;并且有水冷卻保護系統。GJL-2023型真空/可控氣氛共晶爐是在溫控儀上設定工藝曲線,PLC控制設備運行。設備自動完成預設定的工藝過程,方便易用。PLC自動控制程序可根據用戶要求制定。
2.技術指標
l 設計******溫度: 500℃
l ******的工作溫度: 450℃
l 定值控溫精度: ±1℃
l 極限真空: 5Pa
l 推薦工作真空: 15Pa
l 爐體******氣壓(相對壓力):0.2MPa(10分鐘內變化量不超過5%)
l 有效加熱面積: (150×150) mm2
l 在有效面積內熱均勻性: ±5℃
l ******加熱速率: 120℃/分
l ******冷卻速率: 60℃/分
l 可放器件******高度: 60mm
l 觀察窗口直徑: 80mm
l 外形尺寸: (580 mm×950 mm×1350mm)(重量:150kg)
l 電氣: 380V三相,≤7KW
l 工藝氣體: 2路
3.功能說明
標配功能:
u 采用PLC控制/采用工業控制計算機控制;
u 操作系統可在手動、自動模式之間切換操作;
u 工藝曲線實時監控功能;
u 工藝曲線記錄存儲功能;
u 水冷保護功能(爐蓋及觀察窗密封圈、降溫板);
u 控制軟件具有防差錯互鎖,超溫、超壓報警功能;
u 可對抽真空、加熱、充惰性氣體、排氣等功能進行設置及控制。